кандидат технических наук, ведущий инженер Научно-образовательного центра «Зондовая микроскопия и нанотехнология», Национальный исследовательский университет «Московский институт электронной техники» (ФГАОУ ВО «НИУ МИЭТ»), Москва, Россия, suhi61@mail.ru